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带电清洗起源于二十世纪三十年代。从开始的物理清洗发展的化学清洗,在五十年代,化学带电清洗技术所使用的清洗剂以 F (氟)、 CL (氯) 为主的 二氯甲烷、三、四氯乙烯、、 CFC-113 (氟里昂)等化学 制剂